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1.
出版社: 电子工业出版社   出版日期: 2020
文献类型: 中文图书 , 索书号: TH166/19
2.
著者: 于琪
出版社: 电子工业出版社   出版日期: 2020
文献类型: 中文图书 , 索书号: TH166/18
3.
硅基MEMS制造技术 已借4次.
出版社: 电子工业出版社   出版日期: 2022
文献类型: 中文图书 , 索书号: TH-39/46